KZM168cute
2021-09-12T11:21:19+00:00
9月19日，上海微电子装备集团微信公众号发文称，18日，上微举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。
我司推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机
宣布推出SSB520型新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。
该产品是我司数年潜心研制的最新产品，主要应用于高密度异构集成领域，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点，可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用。
产品投影物镜系统全面升级，可满足0.8μm分辨率光刻工艺需求，极限分辨率可达0.6μm；通过升级运动、量测和控制系统，套刻精度提升至≤100nm，并能保持长期稳定性；曝光视场可提供53mm×66mm(4倍IC前道标准视场尺寸)和60mm×60mm两种配置，可满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求。随着先进封装工艺逐步从过去的“单芯片封装密度提升”向“多芯片高密度互连封装”过渡，我们也将通过提供更高端、更优秀的产品，与我们的亲密伙伴保持合作，助力封装测试厂商提升工艺水平、开拓新的工艺，在封装测试领域共同为中国集成电路产业的发展做出更多贡献。
[quote][pid=551688573,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=63419655]心若飞尘2[/uid] (2021-09-20 19:27):
有没有董哥告诉一下这具体能做出几nm的工艺啊[/quote]1μm=1000nm
……
[quote][pid=551689082,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=50332]百战切轮刀[/uid] (2021-09-20 19:29):
1μm=1000nm
……[/quote][s:ac:哭笑]这差的有点多啊
和今年微电子行业发展匹配
行业工资水涨船高
好事儿开头了[img]http://img.nga.178.com/attachments/mon_201209/14/-47218_5052bd2497822.png[/img]
[quote][pid=551689525,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=63349834]吹不掉的太阳[/uid] (2021-09-20 19:31):
看光刻机还得看asml[/quote]步子再小也要迈起来，谁不知道月亮在天上
[quote][pid=551689190,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=42559011]sakisaki1[/uid] (2021-09-20 19:30):
[s:ac:哭笑]这差的有点多啊[/quote]193纳米的光刻机能做7纳米芯片
[quote][pid=551689525,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=63349834]吹不掉的太阳[/uid] (2021-09-20 19:31):
看光刻机还得看asml[/quote]慢慢来吧，只要在前进就有希望
[quote][pid=551689525,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=63349834]吹不掉的太阳[/uid] (2021-09-20 19:31):
看光刻机还得看asml[/quote]再好也不是咱的
加油吧
看得到希望了
不过这个名字是怎么回事[s:ac:哭笑]
[quote][pid=551691833,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=43103194]鱿乐YOLO[/uid] (2021-09-20 19:42):
加油吧
看得到希望了
不过这个名字是怎么回事[s:ac:哭笑][/quote]一眼就看成了SB250[s:ac:哭笑]
[quote][pid=551689190,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=42559011]sakisaki1[/uid] (2021-09-20 19:30):
[s:ac:哭笑]这差的有点多啊[/quote]觉得说的不是一回事，看12楼截图。
600系列就是纳米，500系列就是微米。然而这俩一个是前端，一个是后端
[quote][pid=551690494,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=12473750]绝命瞬狱杀[/uid] (2021-09-20 19:36):
193纳米的光刻机能做7纳米芯片[/quote]193是光源波长
7是分辨精度
两个不一样
Reply to [pid=551690494,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=12473750]绝命瞬狱杀[/uid] (2021-09-20 19:36)
193纳米是光源，光刻7纳米是分辨率
[quote][pid=551692753,28592668,1]Reply[/pid] Post by [uid=723183]cnkoala[/uid] (2021-09-20 19:46):
觉得说的不是一回事，看12楼截图。
600系列就是纳米，500系列就是微米。然而这俩一个是前端，一个是后端[/quote]12楼被抽了，打点码试试