Sylkhr
2022-06-15T06:32:10+00:00
据媒体报道,近日,上海微电子装备(集团)股份有限公司对外披露,我国第一台28nm工艺的国产的沉浸式光刻机研制成功。虽然这与当今国际顶尖的7nm乃至是5nm光刻机还有数代的隔阂,但是差距已经大大缩小,毕竟在此之前国产光刻机还是90nm。
[quote][pid=618566836,32343579,1]Reply[/pid] Post by [uid=63690761]橘猫与英短短[/uid] (2022-06-16 14:46):
沉浸式是什么鬼???[/quote]泡水里
[quote][pid=618566836,32343579,1]Reply[/pid] Post by [uid=63690761]橘猫与英短短[/uid] (2022-06-16 14:46):
沉浸式是什么鬼???[/quote]哈哈哈 你不说我还没注意
[quote][pid=618566836,32343579,1]Reply[/pid] Post by [uid=63690761]橘猫与英短短[/uid] (2022-06-16 14:46):
沉浸式是什么鬼???[/quote]浸润式,液体比空气折射率高
等等,光刻机貌似不分多少纳米吧,都是代工厂做芯片才分多少纳米吧。
光刻机都是看光的波长吧。
[quote][pid=618566983,32343579,1]Reply[/pid] Post by [uid=42478437]狼辛厨[/uid] (2022-06-16 14:47):
泡水里[/quote]行业里是叫 浸没式
[img]https://img.nga.178.com/attachments/mon_202206/16/-7Q2q-3ad5KpT3cSpy-ca.jpg[/img]
[quote][pid=618565885,32343579,1]Reply[/pid] Post by [uid=9236887]zwyxjyxj[/uid] (2022-06-16 14:42):
有人解释一下这算什么水平吗?[/quote]跟台积电差8代
28nm 22nm 14nm 10nm 7nm 6nm 5nm 3nm
台积电的2nm已经确定2024年投产
28mm都出来了? 感觉速度还是很快的 到14mm基本上一般民用军用都可以自主了 大概只有电脑和手机缺口没有办法解决了
[quote][pid=618567102,32343579,1]Reply[/pid] Post by [uid=4733284]子宴陵虚[/uid] (2022-06-16 14:47):
等等,光刻机貌似不分多少纳米吧,都是代工厂做芯片才分多少纳米吧。
光刻机都是看光的波长吧。[/quote]193nm光源
目前据说是科益虹源的193nm激光发生器稳定性还差点
华卓精科的双工件精工台也没过验收
新东西子系统夸代提升有些问题难免
研制成功和量产还有很长路要走,研制的话甚至可以走不正常渠道买一些国外的部件,量产就不能够了。
希望能尽快量产吧
[quote][pid=618567666,32343579,1]Reply[/pid] Post by [uid=25785961]东风巨浪[/uid] (2022-06-16 14:50):
跟台积电差8代
28nm 22nm 14nm 10nm 7nm 6nm 5nm 3nm
台积电的2nm已经确定2024年投产[/quote]理论上说这个光刻机搞定了稳定了 7NM以上都是可以搞的
问题是 样机都没过验收 进入稳定状态至少2025-2026