近期，苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员与国家纳米中心刘前研究员合作，成功开发出新型5nm超高精度激光光刻加工方法

近期，苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员与国家纳米中心刘前研究员合作，成功开发出新型5nm超高精度激光光刻加工方法。打破了传统激光直写技术中受体材料为有机光刻胶的限制，可使用多种受体材料，极大地扩展了激光直写的应用场景。[url]http://www.sinano.cas.cn/xwdt/kydt/202007/t20200701_5614460.html[/url]
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